半导体器件特性测试装置

摘要

一种半导体器件特性测试装置，包括扫描信号产生电路，阶梯信号产生电路、电流、电压测量电路和特性显示装置等，特别具有传输特性测试运算放大器，寄生振荡抑制电路以及设计新颖独特的功能转换控制电路。本装置可直接图示包括正、反向传输特性在内的半导体三端或双口器件(或网络)的六组标准特性和各种类型的半导体二端器件的i-v特性，能有效地抑制负阻器件特性测试时出现的寄生振荡，结构紧凑，功能齐全、工作可靠、操作简便，是一种新型的半导体器件特性测试仪器。

主权项

1.一种半导体器件特性测试装置，其中包括：一个产生输出波形为正、负半波或全波正弦波的扫描信号产生电路，一个产生输出波形按正阶梯或负阶梯变化的阶梯波信号的阶梯信号产生电路，以及电流，电压测量电路、功能转换控制电路和显示装置等，将扫描信号产生电路输出的扫描信号和阶梯信号产生电路输出的阶梯波信号输入到被测器件或网络的有关端口，被测器件相应端口上的待测电流和电压传送到电流、电压测量电路进行测量，再将电流、电压测量电路的输出信号传送到显示装置以图示被测器件或网络的特性曲线，功能转换控制电路对输入测试信号的类型和测试电路的连接方式进行切换以形成各待测半导体器件或网络特性的测试状态，其特征在于所说的扫描信号产生电路产生的扫描信号包括电压源扫描信号Vs(t)和电流源扫描信号Is(t)，阶梯信号产生电路产生的阶梯波信号包括电压源阶梯信号Vst和电流源阶梯信号Ist，装置中还具有传输特性测试运算放大器和寄生振荡抑制电路，传输特性测试运算放大器可通过功能转换控制电路接到装置测试电路中的测试信号源输出与被测器件之间以测试半导体三端或双口器件或网络的传输特性，寄生振荡抑制电路通过功能转换控制电路连接在装置的测试电路中，使输入的扫描信号先经过寄生振荡抑制电路后再加到被测器件或网络的相应端口上。