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Verfahren zur Herstellung von Verbindungen der Formel (1) <IMAGE> worin R<1>, R<2> und R<3> unabhängig voneinander für H, C1-C12-Alkyl, PhCH2, CH2 = CH-CH2, C5-C7-Cycloalky, C6-C12-Aryl, C6F5-, -CO2C2H5 oder wobei zwei der Reste R<1>, R<2> oder R<3> für = O stehen dadurch gekennzeichnet, daß man Alkohole oder Carbonsäure der Formel (2) <IMAGE> worin R<1'>, R<2'> und R<3'> unabhängig voneinander für H, C1-C12-Alkyl,, PhCH2, C5-C7-Cycloalky, C8-C12-Aryl, C6F5-, -CO2C2H5 oder wobei zwei der Reste R<1>, R<2> oder R<3> für = O stehen, mit einem Fluorierungsmittel der Formel (3) umsetzt <IMAGE> wobei X = P, N, P(NR2)3 oder As und R = C1-C4-Alkyl ist.
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