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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09181045(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950245629 申请日期 1995.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKAWA YOKO;FUJINO MASATO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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