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发明名称
摘要
申请公布号
FR2396271(B1)
申请公布日期
1981.12.11
申请号
FR19780018483
申请日期
1978.06.13
申请人
IBM
发明人
分类号
G01R31/26;G01D5/26;G01D5/32;G01L5/00;G01R1/067;G02B6/04;G02B6/42;(IPC1-7):G01D21/04;G01R1/06;G01X/
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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