发明名称 Pulsed dual radio frequency cvd process
摘要
申请公布号 HK1000479(A1) 申请公布日期 1998.03.27
申请号 HK19970101796 申请日期 1997.09.16
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 YAU, LEOPOLDO, D.
分类号 H01L21/205;C23C16/30;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):H01L;C23C 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址