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经营范围
发明名称
Pulsed dual radio frequency cvd process
摘要
申请公布号
HK1000479(A1)
申请公布日期
1998.03.27
申请号
HK19970101796
申请日期
1997.09.16
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
YAU, LEOPOLDO, D.
分类号
H01L21/205;C23C16/30;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):H01L;C23C
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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