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发明名称 LIQUID PHASE GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56160398(A) 申请公布日期 1981.12.10
申请号 JP19800060867 申请日期 1980.05.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI SABUROU
分类号 C30B19/10;C30B19/00;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B19/10
代理机构 代理人
主权项
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