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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MONOKRISTALLINEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD152816(A1) 申请公布日期 1981.12.09
申请号 DD19800222236 申请日期 1980.06.30
申请人 SCHIRMER,GUSTAV,DD;WEISSMANTEL,CHRISTIAN,DD;HACKER,ERIK,DD;SCHARF,WOLFRAM,DD 发明人 SCHIRMER,GUSTAV,DD;WEISSMANTEL,CHRISTIAN,DD;HACKER,ERIK,DD;SCHARF,WOLFRAM,DD
分类号 C30B25/06;C30B25/18;H01L21/20;(IPC1-7):C30B25/18 主分类号 C30B25/06
代理机构 代理人
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