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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS56158874(A) 申请公布日期 1981.12.07
申请号 JP19800062992 申请日期 1980.05.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIBAYAMA HIKOSUKE;OGAWA TETSUYA;KOSUGI MASATO;HISATSUGU NORISHIGE;KOBAYASHI KOUICHI
分类号 H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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