发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD AND PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11233293(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980048649 申请日期 1998.02.13
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 YASHIMA SHINJI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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