| 发明名称 |
INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3106202(A1) |
申请公布日期 |
1981.12.03 |
| 申请号 |
DE19813106202 |
申请日期 |
1981.02.19 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
KOSA,YASUNOBU;KOMORI,KAZUHIRO |
| 分类号 |
H01L27/112;H01L21/28;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/49;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):G11C17/06;H01L21/82;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L27/112 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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