| 发明名称 |
BELADE- UND ENTLADEVORRICHTUNG FUER PLATTENFOERMIGE HALBLEITERMATERIALIEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE7436293(U) |
申请公布日期 |
1981.12.03 |
| 申请号 |
DE19740036293U |
申请日期 |
1974.10.30 |
| 申请人 |
GEORG MUELLER KUGELLAGERFABRIK KG, 8500 NUERNBERG, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
B24B41/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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