| 发明名称 |
DICHTER, GEKUEHLTER VERSCHLUSS FUER PROZESSROHRE, INSBESONDERE IN DER HALBLEITERFERTIGUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3020264(A1) |
申请公布日期 |
1981.12.03 |
| 申请号 |
DE19803020264 |
申请日期 |
1980.05.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
SCHILLER,PETER,DIPL.-ING. |
| 分类号 |
H01L21/31;B01J3/03;B01J19/00;C30B25/08;C30B31/10;F16L53/00;F16L55/10;H01L21/22;(IPC1-7):B01J19/02 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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