| 发明名称 |
METHOD FOR REJUVENATING ION SOURCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0000586(B1) |
申请公布日期 |
1981.12.02 |
| 申请号 |
EP19780100528 |
申请日期 |
1978.07.27 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
HULL, CHARLES WILLIAM |
| 分类号 |
G01N27/62;H01J3/04;H01J27/02;H01J27/20;H01J49/10;H01J49/14;(IPC1-7):01J49/10 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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