发明名称 VERFAHREN UND MESSANORDNUNG ZUR ERMITTLUNG VON FEHLKONTAKTIERUNGEN
摘要
申请公布号 DD152659(A1) 申请公布日期 1981.12.02
申请号 DD19800223207 申请日期 1980.08.08
申请人 HERZOG,JUERGEN,DD;KRAISS,WOLFRAM,DD 发明人 HERZOG,JUERGEN,DD;KRAISS,WOLFRAM,DD
分类号 G01R31/04;H01L21/60 主分类号 G01R31/04
代理机构 代理人
主权项
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