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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS56155094(A) 申请公布日期 1981.12.01
申请号 JP19800057756 申请日期 1980.05.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HATSUTORI TOSHIHIKO
分类号 C30B11/12;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B11/12
代理机构 代理人
主权项
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