发明名称 SETTING UP DEVICE FOR GRINDING AND POLISHING SEMICONDUCTOR CHIPSUPROVODNIKOVYKH PLASTINOK
摘要
申请公布号 PL119117(B1) 申请公布日期 1981.11.30
申请号 PL19780206423 申请日期 1978.04.27
申请人 发明人
分类号 B24B;B24B7/14;B24B41/06;H01L21/461;(IPC1-7):B24B7/14 主分类号 B24B
代理机构 代理人
主权项
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