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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING RECTANGULAR SHAPED ARRAY OF LIGHT BEAMS
摘要
申请公布号 IL139870(D0) 申请公布日期 2002.02.10
申请号 IL20000139870 申请日期 2000.05.19
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人
分类号 G02B5/08;G02B27/09;G02B27/14;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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