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经营范围
发明名称
EXHAUST SYSTEM WITH TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号
JPS56151287(A)
申请公布日期
1981.11.24
申请号
JP19800054198
申请日期
1980.04.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
SAITOU NAOTAKE
分类号
F04D19/04;F04B25/00;H01J37/18
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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