| 发明名称 |
PROCEDE DE DETECTION DE L'INSTANT FINAL POUR UN TRAITEMENT D'ATTAQUE PHYSIQUE |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LA TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS.</P><P>UN PROCEDE DE DETERMINATION DE L'INSTANT FINAL D'UN TRAITEMENT D'ATTAQUE PHYSIQUE EST BASE SUR LA DETECTION DU COURANT DANS LA CIBLE 11 QUI EST ATTAQUEE ET SUR LA DETECTION DE VARIATIONS DE CE COURANT. LES VARIATIONS DU COURANT MESURE SONT REPRESENTATIVES DE TRANSITIONS ENTRE DES MATIERES DIFFERENTES DANS LA CIBLE OU DE LA PROFONDEUR DE PENETRATION DANS UNE MATIERE PARTICULIERE. UN MASQUE 18 PLACE A COTE DE LA CIBLE PERMET D'ELIMINER PAR DIFFERENCE LES VARIATIONS DE COURANT DUES A DES VARIATIONS D'INTENSITE DU FAISCEAU D'ATTAQUE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES.</P>
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| 申请公布号 |
FR2482783(A1) |
申请公布日期 |
1981.11.20 |
| 申请号 |
FR19810009507 |
申请日期 |
1981.05.13 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
DANIEL FRANCIS DOWNEY |
| 分类号 |
C23F4/00;G01N27/20;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/26;C30B33/00;G01N23/00;G01N23/22 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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