发明名称 Silicon wafer and method of fabricating the same
摘要
申请公布号 KR100573473(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20040032633 申请日期 2004.05.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;C30B15/00;C30B33/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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