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经营范围
发明名称
Silicon wafer and method of fabricating the same
摘要
申请公布号
KR100573473(B1)
申请公布日期
2006.04.24
申请号
KR20040032633
申请日期
2004.05.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/322;C30B15/00;C30B33/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
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