VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHICHTANORDNUNGEN,申请号DD19800222364-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHICHTANORDNUNGEN
摘要
申请公布号	DD152024(A1)	申请公布日期	1981.11.11
申请号	DD19800222364	申请日期	1980.07.03
申请人	SCHAEFER,PETER,DD;ICKERT,LARS,DD	发明人	SCHAEFER,PETER,DD;ICKERT,LARS,DD
分类号	C30B23/00;C30B25/00;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/36	主分类号	C30B23/00
代理机构		代理人
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