抗振设备、曝光设备、和制造装置的方法

摘要

一种抗振设备,包括一标的物件、一参考物件、一测量该标的物件相对于该参考物件位置之测量装置、一根据该测量装置所获得的测量结果以驱动该标的物件之驱动机构、一支撑该参考物件之罗伦兹力致动器,以及一供应恒定电流给该罗伦兹力致动器之电源供应装置。而该致动器系使用一罗伦兹力致动器支撑该参考物件或藉由气体压力来支撑该参考物件。