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Um eine wenigstens teilweise gleichzeitige Nassbehandlung und Trocknung einer Substratoberfläche vorzusehen, wird ein Verfahren vorgesehen, bei dem das Substrat um eine Drehachse gedreht wird, die senkrecht zur zu behandelnden und zu trocknenden Oberfläche des Substrats steht. Eine erste Flüssigkeit wird auf die Oberfläche des Substrats in einem ersten Bereich aufgebracht, eine zweite Flüssigkeit wird auf die Oberfläche des Substrats in einem zweiten Bereich aufgebracht, und ein die Oberflächenspannung der zweiten Flüssigkeit verringerndes Fluid wird in einem dritten Bereich auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht. Dabei liegt der dritte Bereich näher an der Drehachse als der zweite Bereich und der zweite Bereich näher an der Drehachse als der erste Bereich, das Aufbringen der Flüssigkeiten und des die Oberflächenspannung der Flüssigkeit verringernden Fluids erfolgt wenigstens teilweise zeitlich überlappend, und die ersten bis dritten Bereiche werden von der Drehachse weg bewegt. Eine Vorrichtung, die zur Durchführung des obigen Verfahrens geeignet ist, wird ebenfalls vorgesehen.
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