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发明名称 Test pattern of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100895817(B1) 申请公布日期 2009.05.08
申请号 KR20070106284 申请日期 2007.10.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/027 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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