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发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090045679(A) 申请公布日期 2009.05.08
申请号 KR20070111620 申请日期 2007.11.02
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, JAE SOO;PARK, CHEOL HWAN;CHO, HO JIN;LEE, DONG KYUN
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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