发明名称 PROCEDE PERMETTANT DE PROVOQUER L'ECOULEMENT DE MATERIAUX A BASE DE DIOXYDE DE SILICIUM AU MOYEN D'UN LASER
摘要 <P>PROCEDE DE TRAITEMENT THERMIQUE SELECTIF DE MATERIAUX A BASE DE DIOXYDE DE SILICIUM.</P><P>ON UTILISE UN LASER AU GAZ CARBONIQUE CO ACCORDABLE 30 POUR CHAUFFER SELECTIVEMENT DIVERS MATERIAUX A BASE DE DIOXYDE DE SILICIUM SIO 12 A DES TEMPERATURES ELEVEES TOUT EN MAINTENANT UNE REGION DE DISPOSITIF ACTIVE 14 A DES TEMPERATURES RELATIVEMENT BASSES, PAR EXEMPLE POUR PROVOQUER UNE DENSIFICATION ETOU UN ECOULEMENT DU MATERIAU A BASE DE DIOXYDE DE SILICIUM 12 AFIN D'ARRONDIR DES ARETES VIVES ET DES IRREGULARITES 13A, 13B.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS ET, NOTAMMENT, DE TRANSISTORS MOS.</P>
申请公布号 FR2481517(A1) 申请公布日期 1981.10.30
申请号 FR19810008222 申请日期 1981.04.24
申请人 FAIRCHILD CAMERA INSTRUMENT CORP 发明人 MICHELANGELO DELFINO
分类号 H01L29/78;H01L21/268;H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/26 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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