检查装置

摘要

提供即使于高温检查时探针卡(7)之探针(7A)部分性从晶圆夹具(4)露出，其部分之探针(7A#sB!1#eB!)也不会被冷却，可以藉由实质上与其它探针(7A)相同之针压与晶圆W接触，提高高温检查之信赖性的检查装置。其解决手段为本发明之检查装置系属于具备有内藏温度调节机构之可移动的晶圆夹具(4)，和具有被配置在晶圆夹具(4)之上方的多数探针(7A)的探针卡(7)，和控制温度调节机构之第1温度控制装置(46)，在第1温度控制装置(46)之控制下，藉由温度调节机构使晶圆夹具(4)上之晶圆(W)加热至特定温度，执行晶圆(W)之电性特性的检查装置，在晶圆夹具(4)设置有于晶圆(W)之高温检查时与自晶圆夹具(4)露出之多数探针(7A#sB!1#eB!)对向之加热体(43)。