电浆蚀刻室

摘要

所揭示者为一电浆蚀刻室，其包含一气体分配板，该气体分配板引导一反应气体至晶圆边缘；一板，配置成与气体分配板隔开；及缓冲器部分，在气体分配板及该板相面对表面的至少一个表面上突出，以使移动至晶圆边缘的反应气体可压力均匀。