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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5645878(Y2)	申请公布日期	1981.10.27
申请号	JP19770057746U	申请日期	1977.05.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/683;C23C14/50;C23C14/54;H01L21/68;(IPC1-7):C23C13/08	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
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