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发明名称
摘要
申请公布号 JPS56141444(U) 申请公布日期 1981.10.26
申请号 JP19800038558U 申请日期 1980.03.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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