| 摘要 |
<과제>본딩 와이어의 표면에 불안정한 황화은층을 형성해도, 강고한 황화은(AgS)막이 없고, 안정한 수GHz대 등의 초고주파 신호를 보낼 수가 있는 Ag－Pd－Pt 3원 합금 또는 Ag－Pd－Pt를 기본으로 하는 합금의 고속 신호선용 본딩 와이어를 제공하는 것을 목적으로 한다.<해결수단>팔라듐(Pd)을 0.8~2.5질량%, 백금(Pt)이 0.1~0.7질량% 및 잔부가 순도 99.99질량% 이상의 은(Ag)으로 이루어지는 3원 합금 또는 이 3원 합금에 미량 원소가 첨가된 합금으로서, 그 본딩 와이어의 단면은 표피막과 심재로 이루어지고, 그 은합금의 표피막에는 은(Ag)이 고농도인 표면 편석층이 존재하는 것을 특징으로 하는 고속 신호선용 본딩 와이어이다. |
