发明名称 GENERATEUR POUR FAISCEAU D'ELECTRONS PULSE
摘要 <P>A.GENERATEUR COMPORTANT UNE CHAMBRE A VIDE 13 POUR DECHARGES A HAUTE TENSION, AVEC CATHODE 1 ET ANODE 4 IRRADIANT UNE EPROUVETTE AVEC DES PORTEURS DE CHARGES ACCELERES, UN PREMIER CONDENSATEUR 17 DE RESISTANCE A HAUTE TENSION.</P><P>B.CARACTERISE PAR UN DEUXIEME CONDENSATEUR 10 DE DECHARGE AUXILIAIRE ENTRE LA CATHODE 1 ET UNE ELECTRODE D'ALLUMAGE 5 POUR PRODUIRE UN PLASMA D'ALLUMAGE 15 TRAVERSANT LA CATHODE, L'ANODE 4 ETANT EN TREILLIS METALLIQUE TRANSPARENT.</P><P>C.GENERATEUR APPLICABLE AU RECUIT DE REGENERATION DE SEMI-CONDUCTEURS.</P>
申请公布号 FR2480500(A1) 申请公布日期 1981.10.16
申请号 FR19800017782 申请日期 1980.08.12
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE 发明人 JOCHEN GEER ET FRITZ RATZEL;RATZEL FRITZ
分类号 H01J37/077;H01J37/317;H01L21/263;(IPC1-7):H01J37/31 主分类号 H01J37/077
代理机构 代理人
主权项
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