发明名称 |
GENERATEUR POUR FAISCEAU D'ELECTRONS PULSE |
摘要 |
<P>A.GENERATEUR COMPORTANT UNE CHAMBRE A VIDE 13 POUR DECHARGES A HAUTE TENSION, AVEC CATHODE 1 ET ANODE 4 IRRADIANT UNE EPROUVETTE AVEC DES PORTEURS DE CHARGES ACCELERES, UN PREMIER CONDENSATEUR 17 DE RESISTANCE A HAUTE TENSION.</P><P>B.CARACTERISE PAR UN DEUXIEME CONDENSATEUR 10 DE DECHARGE AUXILIAIRE ENTRE LA CATHODE 1 ET UNE ELECTRODE D'ALLUMAGE 5 POUR PRODUIRE UN PLASMA D'ALLUMAGE 15 TRAVERSANT LA CATHODE, L'ANODE 4 ETANT EN TREILLIS METALLIQUE TRANSPARENT.</P><P>C.GENERATEUR APPLICABLE AU RECUIT DE REGENERATION DE SEMI-CONDUCTEURS.</P>
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申请公布号 |
FR2480500(A1) |
申请公布日期 |
1981.10.16 |
申请号 |
FR19800017782 |
申请日期 |
1980.08.12 |
申请人 |
KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE |
发明人 |
JOCHEN GEER ET FRITZ RATZEL;RATZEL FRITZ |
分类号 |
H01J37/077;H01J37/317;H01L21/263;(IPC1-7):H01J37/31 |
主分类号 |
H01J37/077 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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