| 发明名称 |
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET VORMEN VAN EEN EPITAXIALE LAAG. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL168279(B) |
申请公布日期 |
1981.10.16 |
| 申请号 |
NL19750011096 |
申请日期 |
1975.09.19 |
| 申请人 |
MAX PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WIS- SENSCHAFTEN E.V. TE GOETTINGEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/00 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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