| 摘要 |
본 발명의 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법은, 챔버를 목표의 진공도로 진공화함으로써 용융 상태의 땜납으로부터 보이드를 탈포·탈기할 때, 플럭스 비말이나, 땜납 비산을 방지하면서, 단시간에 진공화할 수 있도록 하기 위해, 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도(압력 P)에 대한 진공화 시간(시간 t)을 플롯한 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 미리 복수(#1∼#4) 준비해 두고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 펌프의 진공화 제어를 실행한다. |
