| 摘要 |
전자 부품 반송 장치는, 제1 공간과, 상기 제1 공간과는 상이한 제2 공간과, 상기 제2 공간에 배치되고, 복수의 전자 부품이 배치되는 배치 부재와, 상기 전자 부품이 배치되는 적어도 하나의 방향으로 동작 가능하고, 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간에 접하는 셔터를 구비하고, 상기 셔터에는 복수의 제1 개구부가 형성되어 있다. 또한, 상기 제1 공간과 상기 2의 공간의 습도는 상이한 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2 공간의 습도는, 상기 제1 공간의 습도보다도 낮은 것이 바람직하다. |
