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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56130471(A) 申请公布日期 1981.10.13
申请号 JP19810002759 申请日期 1981.01.13
申请人 IBM 发明人 TOOMASU NOORAN KENEDEI
分类号 B01J19/08;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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