发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS56128555(A) 申请公布日期 1981.10.08
申请号 JP19800032493 申请日期 1980.03.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOIKE TAKESHI;SHIBATA ATSUSHI
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/673 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
地址