发明名称 Process for the electroless deposition of metals.
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur stromlosen Metallabscheidung in sehr gleichmäßiger Schichtdicke durch Versprühen eines wäßrigen Metallabscheidungsbads oderer mehrerer entsprechender Teilbäder auf ein Substrat, wobei das bzw. die Bäder im Augenblick des ersten Auftreffens auf das Substrat mit Wasser im Verhältnis von etwa 1 : 1 bis 1 : 20 verdünnt werden. Sobald aus dem so verdünnten Bad ein erster dünner Metallfilm abgeschieden ist, wird die Bad- bzw. Teilbäderkonzentration stufenweise oder in einem Schritt auf die übliche Konzentration erhöht.
申请公布号 EP0036940(A1) 申请公布日期 1981.10.07
申请号 EP19810101169 申请日期 1981.02.19
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 SCHMITT, DIETER, DR.
分类号 C23C18/31;C23C18/16;C23C18/52;(IPC1-7):C23C3/02 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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