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发明名称
摘要
申请公布号
JPS56129757(U)
申请公布日期
1981.10.02
申请号
JP19800026936U
申请日期
1980.02.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/301;H01L21/78;H01L23/48;(IPC1-7):H01L29/91
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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