Peak current electron source.

摘要

Bei einer Hochstrom-Elektronenquelle kleiner Energiebreite, die insbesondere für einen Elektronenstrahlschreiber Verwendung findet, mit einem aus Kathode (2) und weiteren Elektroden bestehenden Strahlerzeugungssystem, wobei mindestens eine Elektrode (3) so ausgebildet ist, dass die Elektronen im Bereich geringer Geschwindigkeiten astigmatisch in mindestens eine Kreuzungslinie (5) (crossover) fokussiert sind, wird das Strahlerzeugungssystem (1) derart gestaltet, dass die Lagen und Formen der Kreuzungsbereiche auf einfache Weise veränderbar und damit den jeweiligen Einsatzbedingungen der Hochstrom-Elektronenquelle anpassbar sind. Die Wehnelt-Elektrode (3) dieser Hochstrom-Elektronenquelle besteht aus einer oder mehreren Zylinderlinsen oder einem elektrostatischen Multipolelement, oder es ist bei der in der Ebene einer herkömmlichen nichtferromagnetischen Wehnelt-Elektrode (3) mit einer kreisförmigen Durchtrittsöffnung für den Elektronenstrahl ein elektromagnetisches Multipolelement (30) angeordnet. Durch Umpolen der Wehnelt-Spannung oder des Spulenstromes und durch Änderung der Grösse dieses Stromes kann die Form und die azimutale Lage des ersten cross-over (5) im Kathodenraum nahezu beliebig festgelegt werden. Dadurch wird eine Energieverbreiterung der Elektronen verhindert und eine optimale Ausleuchtung abzubildender Flächen erreicht.