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发明名称 MASK MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 SU868891(A1) 申请公布日期 1981.09.30
申请号 SU19802869693 申请日期 1980.01.14
申请人 GETMANOV YURIJ A,SU;SUCHKOVA TATYANA N,SU;SULYUKIN VIKTOR F,SU;FARTUKOVA OLGA E,SU 发明人 GETMANOV YURIJ A,SU;SUCHKOVA TATYANA N,SU;SULYUKIN VIKTOR F,SU;FARTUKOVA OLGA E,SU
分类号 H01L21/312;G03F1/48;(IPC1-7):H01L21/31;G03F1/00 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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