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发明名称 DEVICE FOR MEASURING PARAMETERS OF THIN FILMS
摘要
申请公布号 SU868661(A1) 申请公布日期 1981.09.30
申请号 SU19802874120 申请日期 1980.01.24
申请人 SP KT BYURO DO FIZIKO-TEKHNICHESKOGO I AN USSR;DO FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I AN USSR 发明人 GLUSHCHENKO ANATOLIJ A,SU;KUROCHKIN VADIM I,SU;LAPTIENKO ARKADIJ YA,SU;KHODOSOV EVGENIJ F,SU
分类号 G01R33/05;(IPC1-7):01R33/05 主分类号 G01R33/05
代理机构 代理人
主权项
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