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发明名称
摘要
申请公布号 JPS56127513(U) 申请公布日期 1981.09.28
申请号 JP19800024564U 申请日期 1980.02.26
申请人 发明人
分类号 G05F1/56;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G05F1/56 主分类号 G05F1/56
代理机构 代理人
主权项
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