发明名称 CASE FOR PHOTOOMASK
摘要
申请公布号 JPS56123276(A) 申请公布日期 1981.09.28
申请号 JP19800024945 申请日期 1980.02.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MESHIGAYA TETSUO
分类号 B65D85/86;B65D85/38;G03F1/00;G03F1/66;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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