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发明名称
摘要
申请公布号
DE2728361(C2)
申请公布日期
1981.09.24
申请号
DE19772728361
申请日期
1977.06.23
申请人
IBM DEUTSCHLAND GMBH, 7000 STUTTGART, DE
发明人
MORITZ, HOLGER, 7031 HOLZGERLINGEN, DE
分类号
H05K3/06;C23F1/02;G01B11/00;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H05K3/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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