| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR IC DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS56120166(A) |
申请公布日期 |
1981.09.21 |
| 申请号 |
JP19800022760 |
申请日期 |
1980.02.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMIZU SHINJI;KOMORI KAZUHIRO;OSA YASUNOBU;SUGIURA JIYUN |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/32;H01L21/82;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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