| 发明名称 |
GEKAPSELTE HALBLEITERVORRICHTUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3046375(A1) |
申请公布日期 |
1981.09.17 |
| 申请号 |
DE19803046375 |
申请日期 |
1980.12.09 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
MIURA,YASUAKI |
| 分类号 |
C03C3/062;C03C3/32;H01L23/057;H01L23/10;(IPC1-7):01L23/10;01L23/28;01L23/48 |
主分类号 |
C03C3/062 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
