METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT OF SEMICONDUCTOR MATERIALS,申请号GB19780008175-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号	GB1598146(A)	申请公布日期	1981.09.16
申请号	GB19780008175	申请日期	1978.03.01
申请人	FUJITSU LTD	发明人
分类号	H01L21/205;B65G49/07;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/04;C23C11/00	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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