| 发明名称 |
SECONDARY ELECTRON DETECTOR SYSTEM FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2071403(A) |
申请公布日期 |
1981.09.16 |
| 申请号 |
GB19810004621 |
申请日期 |
1981.02.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL PRECISION INC |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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