发明名称 MOLECULAR-BEAM EPITAXY
摘要
申请公布号 GB1598051(A) 申请公布日期 1981.09.16
申请号 GB19780002458 申请日期 1978.01.20
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L33/00;C30B23/02;C30B23/08;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/268;H01L47/00;(IPC1-7):C23C13/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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